在高純度氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制中對(duì)微量或痕量雜質(zhì)的準(zhǔn)確監(jiān)測(cè)，往往是研制工作中的難點(diǎn)。高純氣 體是保證半導(dǎo)體芯片、大規(guī)模集成電路生產(chǎn)質(zhì)量的關(guān)鍵因素，高純氣體的生產(chǎn)要受到眾多因素的影響，從稱量配氣到使用，它要流經(jīng)很多管道，接觸許多配件、控制裝置和凈化設(shè)備，在長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，受配件、裝置、材質(zhì)的影響，局部可能發(fā)生泄漏或滲漏，均會(huì)造成高純氣體的污染。在制備高純氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的過程中，同樣也受到上述各種因素的影響。因此，對(duì)高純氣體純度的監(jiān)測(cè)，是保證生產(chǎn)過程產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。 
       為保證高純氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的質(zhì)量，必須配備高素質(zhì)的分析人員進(jìn)行檢測(cè)和分析工作，其雜質(zhì)含量 應(yīng)保證控制在10-6、10-9、10 -12 數(shù)量級(jí)。對(duì)從事 高純氣體質(zhì)量監(jiān)測(cè)的實(shí)驗(yàn)室應(yīng)當(dāng)配置高精度的分析儀器，并且每年要進(jìn)行計(jì)量認(rèn)證，雖然投資較高，但對(duì)保證高純氣體的質(zhì)量,提供準(zhǔn)確可靠的分析數(shù)據(jù)是絕對(duì)必要的。